ohne Drittmittelfinanzierung
Entwicklung von Plasma Abscheideverfahren für optische MEMS
Details zum Projekt
Projektlaufzeit: 06/2000–05/2003
Zusammenfassung
In diesem Projekt werden optische Braggspiegel und Filter mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasendeposition (PECVD) hergestellt. Dabei wird die Tauglichkeit des Verfahren für die Herstellung von 'low cost' optischen Mikrostrukturen getestet.
