ohne Drittmittelfinanzierung
Mikrostrukturierung
Details zum Projekt
Zusammenfassung
Die hohen Anforderungen an die Mikrostrukturierung werden durch eine möglichst optimale Kombination von Lithographie und Ätzprozessen erfüllt. Im Bereich der Mikrostrukturtechnik beschäftigen wir uns daher mit der Wechselwirkung von Elektronenstrahlen mit Resistmaterialien und der Analyse von Plasmaprozessen für das Trockenätzen. Ziel ist, 3-dimensionale Strukturen mit hohem Aspektverhältnis für Mikromechanik und Mikrosystemtechnik zu realisieren.
