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Compound Semiconductors
Details zur Publikation
Autor(inn)en: | Dharmarasu, N.; Hillmer, H. |
Herausgeber: | Gianchandani YB, Tabata O, Zappe HP |
Verlag: | Elsevier |
Verlagsort / Veröffentlichungsort: | Amsterdam and Oxford |
Publikationsjahr: | 2008 |
Seitenbereich: | 25-51 |
Buchtitel: | Comprehensive microsystems |
ISBN: | 978-0-444-52190-3 |
DOI-Link der Erstveröffentlichung: |
Schlagwörter
cantilevers suspension, Compound semiconductors, filters, Micromachined sensors, Micromachining, Microsystems, Optical 5MEMS6, photodiodes, Self-assembled 3D micro/nanostructures, VCSELs, Wavelength-tunable devices
